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真空吸笔 抗静电系列 抗静电的需求

吸笔本身表面以传导性尼龙制成，可降低静电对晶片的影响

吸笔头以传导性PEEK材质制成

106到108ohms电阻率提供的静电防护

处理半导体5寸硅晶圆用的抗静电真空吸笔：

处理半导体6寸硅晶圆用的抗静电真空吸笔：

处理半导体8寸硅晶片用的抗静电真空吸笔：

HEPA虑心的无油真空泵：

抗静电真空管线：

不会有静电的累积

避免电火花

是以传导性Polyurethanestmer材质制成

表面电阻率：103 到 106 ohms/cm2

体积电阻率：10 到 104 ohms-cm

使用温度范围：-40度到80度